8617729330137
yanggang@cljzmet.com
noSpråk
Advanced Search
Zirkoniumsputteringsmål

Zirkoniumsputteringsmål

Zirkoniumsputteringsmål kommer vanligvis i forskjellige størrelser avhengig av applikasjon, utstyrskompatibilitet og produksjonsprosess. Følgende standardiserte og tilpassede størrelsesområder er tilgjengelige: Sirkulære zirkoniummål (Mainstream Size) Diameter: 2 tommer (50,8 mm) — Minste vanlige størrelse, egnet for lite eksperimentelt utstyr og presisjonsbeleggsystemer 3 tommer (76,2 mm) — Standardstørrelse i halvleder- og optisk beleggsindustri, mye brukt i magnetronsputtingsstørrelse 1 mm (1 mm) hovedstørrelse. produksjon, balanseringseffektivitet og kostnad6 tommer (152,4 mm) — Vanligvis brukt i produksjon med høy-gjennomstrømning, egnet for belegg med store-arealerφ200 mm – φ600 mm — Støttet tilpasningsalternativer for store-størrelser, ofte brukt i spesialiserte felt som solenergi og skjermpaneler med tykkelse på 3 mm – 10 mm tykke tykkelse. og sputtering ensartethet.12 mm – 40 mm — For bruk med høy-kraft eller lang-levetid, som for eksempel forsknings-kvalitet eller kontinuerlige produksjonssystemer.Rektangulære/plane mål Størrelsesområde: 100 mm × 30 mm — Små rektangulære mål som vanligvis brukes i laboratorieforskning, 500 mm × 500 mm × 500 mm Plane mål i industrikvalitet, egnet for stort PVD-utstyr. Tykkelse: Vanligvis 5 mm – 15 mm, justert i henhold til underlagsstørrelse og krav til sputteringsensartethet. Tilpasning tilgjengelig i henhold til tegninger, inkludert: Uregelmessige konturer (ring-, ellipse-, vifteformet) Spesielle tykkelser (<2 mm ultra-thin targets or >50 mm tykke mål)Overflatebehandlinger (blank finish, syre-vasket finish, Ra1,6μm polert)
Sende bookingforespørsel
Beskrivelse
Zirconium Sputtering Target

Produktnavn: Zirconium Sputtering Target

Materialklasse: Zr702 (ASTM B493 klasse R60702)

Renhetsgrad: 99,95 % (3N5) metall-basert (Hf-fri)

Kjerneapplikasjoner: Avansert halvlederemballasje, optisk belegg, solcellebakelektrode, mikroelektronisk sammenkoblingslag (PVD-prosess)

Produksjonsstandarder: Samsvarer med ASTM B493/B493M-14 (spesifikasjon for sirkonium og sirkoniumlegeringssmiing) og SEMI M13-1102 (Generell spesifikasjon for sputteringsmål)

Den teoretiske tettheten til Zirconium Sputtering Target er 6,51 g/cm³, dens tetthet er større enn eller lik 99,0 %, dens termiske ledningsevne er 22,6 W/m·K, og dens varmeutvidelseskoeffisient (20–300 grader) er 5,7 × 10⁻. Disse parameterne er målte verdier for Zr702-mål med høy -renhet i standard glødet tilstand, egnet for høyeffekts DC/RF-magnetronforstøvningsapplikasjoner, og har en termisk stabilitet som er overlegen 99,9 % renhet materialer.

Produktoverflatekvalitet og mikrostrukturkrav:

Kornstørrelse: Mindre enn eller lik 50 μm (gjennomsnitt), målt ved EBSD (Electron Backscatter Diffraction), med et standardavvik for kornstørrelsesfordeling Mindre enn eller lik 15 μm.

Overflateruhet (Ra): Mindre enn eller lik 0,8 μm, målt med et 3D optisk profilometer (ISO 4287), fri for riper, fordypninger og groper.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² avvises.

Mikrostruktur: Ensartet likeakset -fasestruktur. SEM (500× forstørrelse), fri for porer, inneslutninger og segregering.

Alle mål fortettes ved varm isostatisk pressing (HIP) for å sikre korngrensebindingsstyrke Større enn eller lik 180 MPa, og oppfyller kravet om ingen delamineringsfeil etter mer enn eller lik 500 timers kontinuerlig sputtering.

High-purity Zr702 sputtering target

 

 

Pakke- og fraktspesifikasjoner for zirkoniumsputteringsmål (GHS og IEC-kompatibel):

Inneremballasje: Vakuumforseglet (mindre enn eller lik 1×10⁻³ mbar) + fylt med høy-argon (99,999 %), i samsvar med ASTM F2095.

Ytre emballasje: Dobbel-fuktighetssikker-pose av aluminiumsfolie + EPE-dempingskum + trekasse (kompatibel med ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Fuktbeskyttelsesetikett: Fuktighetssikkert-kort + fuktighetsindikator (mindre enn eller lik 5 % RF), i samsvar med IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Samsvar med GHS 7. revisjon, som inneholder 16 standardseksjoner, inkludert Zr støveksplosjonsrisiko (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Fraktetikett: UN 1399 (ikke-brennbart fast metall) + etsende stoffer.

Hver boks inkluderer en tørkemiddelpakke (silikagel) og en fuktighetsskriver. Temperaturkontroll under transport: 5–30 grader, relativ fuktighet Mindre enn eller lik 40 %.

FAQ

Spørsmål: Kan du gi typiske kundecasestudier av Zirconium Sputtering Target?

A: Verdens ti fremste halvlederprodusenter, inkludert TSMC, Samsung Electronics, Intel og SK Hynix, er alle indirekte sluttbrukere- av zirkoniummål. Deres avanserte prosesser (som noder under 5nm) bruker i stor grad Zr702-mål for metallbarrierelag, grensesnittpassiveringslag og sammenkoblingsstrukturer, avsatt ved bruk av PVD-utstyr som Applied Materials Endura® og Lam Research Kiyo®. Zirkoniummål er dermed innebygd som nøkkelfunksjonelle materialer i masseproduksjonsprosessene deres.

Ledende internasjonale skjerm- og solcelleselskaper, som LG Display, Samsung Display og First Solar, bruker zirkoniummål med høy-renhet i OLED-panelelektrodebelegg og CIGS-solcelle-bakelektrodeproduksjon for å oppnå lav-motstand, høy-stabil metall-tynnfilmavsetning, som oppfyller kravene til stor{}uniform{4}produksjon.

Høy-fremstillingsselskaper for luftfart og forsvar, inkludert Lockheed Martin, Boeing og Northrop Grumman, bruker zirkoniummål for PVD-avsetning av høy-temperatur-, korrosjonsbestandig-belegg, påført på motorkomponenter, termiske beskyttelsessystemer og radarsmykkestrukturer. Deres innkjøpsstandarder er strenge, og krever samsvar med AS9100D-sertifisering og sporbarhet for batch-COA.

Spørsmål: Godtar du bankkredittbrev?

A: Ja, vi aksepterer remburs (L/C) som betalingsmåte for kjøp. Vennligst hold kontakten.

Spørsmål: Er zirkoniumsputteringsmål generelt sertifisert av ISO 9001, IATF 16949 og AS9100?

A: Ja, når det gjelder zirkoniumsputteringsmål for industrielle-applikasjoner, har ISO 9001, IATF 16949 og AS9100D-sertifiseringer blitt universelle og obligatoriske inngangsstandarder.

 

 

 

 

Populære tags: zirkonium sputtering mål, Kina zirkonium sputtering mål produsenter, leverandører, fabrikk

Du kommer kanskje også til å like

Zirkonium og zirkoniumlegering sømløs rør sveiset rør
Zirkonium og zirkoniumlegering sømløs rør sveiset rør
Zirkoniumstenger og zirkoniumlegeringsstenger
Zirkoniumstenger og zirkoniumlegeringsstenger
Ren zirkonium og legering zirkoniumtråd
Ren zirkonium og legering zirkoniumtråd
Krommålmateriale
Krommålmateriale
Industriell zirkoniumbehandlingsdeler
Industriell zirkoniumbehandlingsdeler
R60702 Zirkoniumstang
R60702 Zirkoniumstang